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昆山办事处
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518系列高性能2D高度仪
型号：518-341DC
特点：
*分辨率为0.1/0.5μm时，精度可高达(1.3+
*确保垂直度（前部）达6μm，直线度达4μm；
*全/半空气浮动系统可调节气垫；
*带有基本统计功能，另外，通过RS
可实现外部测量数据评估；
技术参数：
|
型号 |
518-341DC |
|
测量范围 |
0 |
|
分辨率 |
0.0001/ |
|
测量精度 |
(1.1+ |
|
垂直度 |
5um |
|
驱动方式 |
手动/电动（7级调速） |
|
测量压力 |
1N |
|
底座气垫 |
有 |
|
显示 |
大型LCD屏显示 |
|
电源 |
内置可充电电池 |
|
数据输出 |
RS |
|
标准测量测头 |
Ø |
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